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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱(chēng)：OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200

    • 產(chǎn)品型號(hào)：SF-3/200
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    　SF-3/200 OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì) 用非接觸的溫哈和樹(shù)脂的超高速實(shí)時(shí)、高精度的測(cè)量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200
    詳情介紹：
    SF-3/BB

       OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)

    用非接觸的溫哈和樹(shù)脂的超高速實(shí)時(shí)、高精度的測(cè)量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計(jì)SF-3/200

    特長(zhǎng)

    非接觸、非破壞可進(jìn)行厚度測(cè)量

    反射光學(xué)系統(tǒng)（可以通過(guò)一方的接觸來(lái)測(cè)量）

    高速性（*快5ks）且可實(shí)時(shí)評(píng)價(jià)

    實(shí)現(xiàn)高的穩(wěn)定性（重復(fù)精度0.01%）

    粗枝大葉

    可以對(duì)應(yīng)任何距離

    對(duì)應(yīng)多層結(jié)構(gòu)（*大5層）

    內(nèi)置NG數(shù)據(jù)的功能

    可以測(cè)量距離（形狀）（組入傳感器的附屬選項(xiàng)）*

    *根據(jù)測(cè)量范圍內(nèi)的光學(xué)距離測(cè)量


     

    Point1：獨(dú)自の技術(shù)で

    幅広い範(fàn)囲の膜厚に対応するとともに、高い波長(zhǎng)分解能を?qū)g現(xiàn)。
    大塚電子獨(dú)自の技術(shù)をコンパクトボディに詰め込みました。

     

    Point2：高速対応

    移動(dòng)する測(cè)定対象でも正確なピッチで測(cè)れるので、
    工場(chǎng)の生産ラインにも*適です。

     

    Point3：さまざまな表面狀態(tài)のサンプルに対応

    約φ20μmという微小スポットにより、
    さまざまな表面狀態(tài)のサンプルにおいても、厚み測(cè)定が可能です。

     

    Point4：さまざまな環(huán)境に対応

    *大200mmまで離れた位置からでも測(cè)定可能なため、
    目的や用途に応じた測(cè)定環(huán)境を構(gòu)築可能です。

     

    測(cè)定項(xiàng)目
    • 厚み測(cè)定（５層）

     

    用途
    • 各種の厚膜部材厚み

     

    仕様

    SF-3仕様

    ＊1 ： 測(cè)定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。 
    ＊2 ： 製品出荷基準(zhǔn)の保証値スペックとなり、當(dāng)初基準(zhǔn)サンプルAirGap約300μmと
             約1000μm測(cè)定時(shí)の相対標(biāo)準(zhǔn)偏差（ n = 20 ） 
    ＊3 ： WD50mmプローブ仕様時(shí)の設(shè)計(jì)値
    ＊4 ： 特別仕様 
    ＊5 ： 薄膜測(cè)定時(shí)に使用 
    ※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300 


    基本構(gòu)成

    測(cè)定例
         サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ 
    サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ
     

    マッピング結(jié)果 研削後300mmウェーハシリコン厚み

    マッピング結(jié)果
    研削後300mmウェーハシリコン厚み

     



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