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    日本MIKASA米卡薩|顯影裝置株式會(huì)社光刻膠專用儀器設(shè)備|塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司

    日期:2024-09-20 07:37
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    摘要: 日本MIKASA米卡薩|顯影裝置株式會(huì)社光刻膠專用儀器設(shè)備|塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司 日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,晶圓涂抹提供一站式服務(wù)。 日本Mikasa 半導(dǎo)體用設(shè)備 旋涂機(jī) MS-B100,MS-B150,MS-B200,MS-B300,MS-B200 日本Mikasa密閉型MS-B300 密閉型MA-20,MA-10B,MA-60F,M-2LF,M-1S,AD-1200,AD-3000,ED-1200, 日本Mikasa腔室不銹鋼 轉(zhuǎn)數(shù) 0~3,000rpm電...


    日本MIKASA米卡薩|顯影裝置株式會(huì)社光刻膠專用儀器設(shè)備|塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司



    日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,晶圓涂抹提供一站式服務(wù)。

    日本Mikasa 半導(dǎo)體用設(shè)備 旋涂機(jī)

    MS-B100,MS-B150,MS-B200,MS-B300,MS-B200

    日本Mikasa密閉型MS-B300

    密閉型MA-20,MA-10B,MA-60F,M-2LF,M-1S,AD-1200,AD-3000,ED-1200,

    日本Mikasa腔室不銹鋼 轉(zhuǎn)數(shù) 0~3,000rpm電路板尺寸φ1英寸~φ12英寸(220×220mm) 聯(lián)鎖 真空吸附確認(rèn)傳感器處理室蓋聯(lián)鎖吸嘴移動(dòng)超限限位器化學(xué)壓力輸送壓力罐壓力進(jìn)給藥液噴出噴霧噴射(擺動(dòng)噴嘴類型) 電源 AC200V 3 相 15A尺寸 (mm)打開門時(shí) 720W×500H×520D910H步驟數(shù)48 步跳過和復(fù)制功能程序模式 10 種模式 重量 60㎏流程(標(biāo)準(zhǔn)) 顯影液:1系統(tǒng)(2個(gè)噴嘴)沖洗:1個(gè)系統(tǒng)(2個(gè)噴嘴)后沖洗:1個(gè)系統(tǒng) 主要選項(xiàng) 化學(xué)溫度管理系統(tǒng)(加壓系統(tǒng))各種基板支架安裝工作臺(tái)使用的化學(xué)溶液 堿性顯影液

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