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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BB

  • 產(chǎn)品型號：SF-3/BB
  • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
　SF-3/BB OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計 用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BB
詳情介紹：
SF-3/BB

   OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計

用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。

特長

非接觸、非破壞可進行厚度測量

反射光學系統(tǒng)（可以通過一方的接觸來測量）

高速性（*快5ks）且可實時評價

實現(xiàn)高的穩(wěn)定性（重復精度0.01%）

粗枝大葉

可以對應任何距離

對應多層結構（*大5層）

內(nèi)置NG數(shù)據(jù)的功能

可以測量距離（形狀）（組入傳感器的附屬選項）*

*根據(jù)測量范圍內(nèi)的光學距離測量


 

Point1：獨自の技術で

幅広い範囲の膜厚に対応するとともに、高い波長分解能を実現(xiàn)。
大塚電子獨自の技術をコンパクトボディに詰め込みました。

 

Point2：高速対応

移動する測定対象でも正確なピッチで測れるので、
工場の生産ラインにも*適です。

 

Point3：さまざまな表面狀態(tài)のサンプルに対応

約φ20μmという微小スポットにより、
さまざまな表面狀態(tài)のサンプルにおいても、厚み測定が可能です。

 

Point4：さまざまな環(huán)境に対応

*大200mmまで離れた位置からでも測定可能なため、
目的や用途に応じた測定環(huán)境を構築可能です。

 

測定項目
  • 厚み測定（５層）

 

用途
  • 各種の厚膜部材厚み

 

仕様

SF-3仕様

＊1 ： 測定條件および解析條件により*小サンプリング周期は異なります。 
＊2 ： 製品出荷基準の保証値スペックとなり、當初基準サンプルAirGap約300μmと
         約1000μm測定時の相対標準偏差（ n = 20 ） 
＊3 ： WD50mmプローブ仕様時の設計値
＊4 ： 特別仕様 
＊5 ： 薄膜測定時に使用 
※CE取得品はSF-3/300、SF-3/1300 


基本構成

測定例
     サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ 
サポートウェーハ付き仮貼り合わせウェーハ
 

マッピング結果 研削後300mmウェーハシリコン厚み

マッピング結果
研削後300mmウェーハシリコン厚み

 


OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BBOTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/BB

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