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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ

  • 產(chǎn)品型號：SF-3Rθ
  • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
SF-3Rθ OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
詳情介紹：
SF-3Rθ

   OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)

SF-3AA搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。


特　長
  • 提供微細圖案，提供溫厚和各種厚度信息

    實現(xiàn)高精度X-Y定位舞臺（注2μm以下），實現(xiàn)高精度的定位

    MEMS和傳感器設(shè)備等對應(yīng)6英寸韋哈

    （Options）：8和12英寸

    除了晶片形狀以外也可以對應(yīng)

測定項目
  • パターン付きウェーハ
  • シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
  • テンポラリーウェーハ

スペック

スペック
構(gòu)成図

構(gòu)成図

測定例

■貼り合わせウェーハ（Si／ボンディング／サポート基板）

Si膜厚分布（約２５ｕｍ）

Si膜厚分布（約25μｍ）
 

ボンディング膜厚分布（約２５ｕｍ）
ボンディング膜厚分布（約25μｍ）

 



OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ

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