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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000

    • 產(chǎn)品型號(hào)： ET4000
    • 產(chǎn)品廠商：KOSAKA小坂研究所
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
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    Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000
    詳情介紹：

    Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000

    Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000

    Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000

    Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000

    Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000


    微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)

    ET4000系列

    · 高精度．安定性．機(jī)能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。


    · 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。


    · ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。


    · ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。

    · ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。


    · ET4300一適合12"樣品測(cè)量。

    特長(zhǎng)
    *大試片尺寸 210×210mm~300×400mm
    重現(xiàn)性 1σ 0.5nm以內(nèi)
    測(cè)定范圍 Z:100μm X:100～305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm)
    分解能 Z:0.1nm X:0.1μm
    測(cè)定力

    0.5μN(yùn)~500μN(yùn) (0.05mg-50mg)


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