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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：OPTM-A3_OPTM顯微分光膜厚儀_Otsuka大塚

  • 產(chǎn)品型號： OPTM-A3
  • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
頭部集成了薄膜厚度測量所需功能 通過顯微光譜法測量高精度**反射率（多層膜厚度，光學常數(shù)） 1點1秒高速測量 顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)（紫外至近紅外） 區(qū)域傳感器的**機制 易于分析向?qū)?，初學者也能夠進行光學常數(shù)分析 獨立測量頭對應各種inline客制化需求 支持各種自定義 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Ots
詳情介紹：


顯微分光膜厚儀OPTM series


顯微分光膜厚儀OPTM series


















特點


頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
通過顯微光譜法測量高精度**反射率（多層膜厚度，光學常數(shù)）
1點1秒高速測量
顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)（紫外至近紅外）
區(qū)域傳感器的**機制
易于分析向?qū)?，初學者也能夠進行光學常數(shù)分析
獨立測量頭對應各種inline客制化需求
支持各種自定義



使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過**反射率進行測量，可進行高精度膜厚度/光學常數(shù)分析。可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數(shù)的軟件



OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時間 1秒 / 1點
光斑大小 10μm (*小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規(guī)格 氘燈+鹵素燈   鹵素燈
電源規(guī)格 AC100V±10V 750VA（自動樣品臺規(guī)格）
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規(guī)格之主體部分)
重量 約 55kg（自動樣品臺規(guī)格之主體部分）


*目前蘇州地區(qū)有樣機可供測試

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