主要特長
- 非常適用于實驗?研發(fā)之用途。
- 緊湊型設(shè)計(600×600mm)，可在桌面上安裝使用。
- 搭載UV LED爆光燈房標準（有效曝光范圍φ4″）。
- 接觸式曝光模式（可支持其他的曝光模式，為選購項）。
- 完全手動操作，價格公道合理。
主要規(guī)格
| DA-1000 | |
|---|---|
| Wafer Size | ?2″ , ?3″ and max. ?4″ |
| Mask Size | 5″ x 5″ |
| Alignment Scope | 8 times |
| Lamp House | UVLED (365 nm or 405 nm) |
| Illumination Intensity | Max. 14 mW /? (365 nm) or Max. 20 mW /? (405 nm) |
