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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：日本ACE排氣壓力控制器EPS-5100

    • 產(chǎn)品型號(hào)： EPS-5100
    • 產(chǎn)品廠商：ACE大流量計(jì)
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    主な用途 枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変動(dòng)を受ける機(jī)器及びプロセス 液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース內(nèi)の排気圧力コントロール
    詳情介紹：

    項(xiàng)　目 EPS-5200 EPS-5150 EPS-5100
    接続パイプ口徑 200A 150A 100A
    流量範(fàn)囲 （1次側(cè)） 0.5 ～ 15 Nm3/min 0.5 ～ 10 Nm3/min 0.3～ 5 Nm3/min
    流量が*低流量に満たない場(chǎng)合には設(shè)定圧力に到達(dá)しない場(chǎng)合があります。
    圧力損失 15 Nm3/min（Air）で50Pa 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下
    コントロールバルブ取合い 200A配管出し 150A配管出し 100A配管出し
    調(diào)整圧力範(fàn)囲 （1次側(cè)圧力） -50 ～ -999Pa （大気圧との差圧?2次側(cè)圧力に依存します）
    2次側(cè)圧力（バルブ下流圧力） （制御圧力-50）Pa以下
    差圧がこの數(shù)値より小さい場(chǎng)合、1次側(cè)調(diào)整範(fàn)囲が狹くなります。
    圧力精度 ±2% フルスケール 
    制御リップル （定常制御時(shí)の変動(dòng)） ±1% フルスケール （2次側(cè)圧力変動(dòng)±10Pa以內(nèi)）
    耐圧 （1次側(cè)の圧力） 50kPa （大気圧との差圧） 以內(nèi)
    応答性 設(shè)定の98%に対し2秒以內(nèi) （Typical）
    流體溫度 10 ～ 50℃
    本體環(huán)境溫度 （精度保証溫度） 15 ～ 35℃
    電源電圧 24V  DC ± 10%
    外部出力 圧力信號(hào)?。骸? ～ 5V DC
    アラーム ： NPN ????????????????  DC 30V < 100mA
    コントローラ （CD-100） 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)定もしくは外部設(shè)定切換え可能
    外部設(shè)定信號(hào) 圧力設(shè)定信號(hào) ： 4 ～ 20mA
    バルブ ： 強(qiáng)制オープン、コントロール
    （オプション） Control / Open （C/O） ： 24V  DC  ON/OFF
    アラーム信號(hào) 圧力差異 （任意設(shè)定）
    本體異常 （圧力??????の異常も含む）
    シリアル通信 RS485
    供給Air （N2） 圧力 0.3±0.1MPaG
    各ポート Φ6mm ワンタッチ（バルブ,電空部）
    Φ4㎜ワンタッチ（圧力計(jì)測(cè)用）
    バルブへの供給配管任意
    接ガス材質(zhì) PVC,　バイトン,　EPDM
    取り付け姿勢(shì) 自由
    コントロール弁狀態(tài) 電源OFF時(shí)、バルブ狀態(tài)保持
    パイプ徑、流量?圧力等上記仕様外のご要望の場(chǎng)合は別途ご相談?lì)姢い蓼埂?br> 排気流量制御が必要な場(chǎng)合は型式DPFCシリーズを準(zhǔn)備しております。別途ご相談?lì)姢い蓼埂?br>
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