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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
フォトリソグラフィ工程における簡易露光焼付裝置
卓上型?一體型のため省スペース
マイコン搭載により、照射時(shí)間を正確に制御
詳情介紹：
| 型式 | UVL-2 |
|---|---|
| 光源 | 超高圧水銀ランプ |
| 放射照度[mW/?] | 20 |
| 光束 | 100 x 100 (有効80 x 80) |
| 照度ムラ[± %] | 8 |
| 露光時(shí)間 | 0.5 - 99.9 |
| 試料臺 | 固定式?平面微調(diào)機(jī)構(gòu)付き |
| 試料サイズ[mm x mm] | 100 x 100 |
| マスクサイズ[mm x mm] | 70 x 70 |
| 試料固定 | ストッパー突き當(dāng)て方式 |
| 通信I/F | RS-232C |
| 電源電圧 | AC100V 50/60Hz |
| 消費(fèi)電力[VA] | 700 |
| 動作環(huán)境 |
?溫度 : 5 - 35[℃] ?濕度 : 80[％]以下 但し、結(jié)露なきこと |
| 寸法(WxHxD)[mm] | 350 x 790 x 350 |
| 重量[kg] | 30 |
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