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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：SAMCO ICP 蝕刻設(shè)備 RIE-800iPC

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：SAMCO薩姆肯
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    高密度等離子蝕刻裝置，采用電感耦合等離子體（工業(yè)塑料廣場(chǎng)）作為放電形式。 該裝置是一種全 面生產(chǎn)設(shè)備，具有真空盒室，具有優(yōu)異的工藝可重復(fù)性和穩(wěn)定性。
    詳情介紹：

    是一種全  面生產(chǎn)設(shè)備，具有真空盒室，具有優(yōu)異的工藝可重復(fù)性和穩(wěn)定性。

    特點(diǎn)

    新型ICP源「HSTC?： Hyper Symmetrical Tornado Coil」

    高射頻功率（2 kW 或更高）可高效、穩(wěn)定地應(yīng)用，以實(shí)現(xiàn)良好的均勻性。

    大流量排氣系統(tǒng)

    通過采用與反應(yīng)室直接相連的排氣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了從小流量、低壓區(qū)域到大流量、高壓范圍的各種工藝窗口。

    下部電極升降機(jī)構(gòu)

    優(yōu)化晶圓和等離子體之間的距離，確保良好的平面內(nèi)均勻性。

    易于維護(hù)的設(shè)計(jì)

    TMP（渦輪分子泵）和高頻電源單元化，便于更換。

    應(yīng)用示例

    ? 高精度加工化合物半導(dǎo)體，如 GaN、GaAs 和 InP

    ?高速加工SiC、SiO

    ? 蝕刻難蝕刻材料，如鐵電體（PZT、BST、SBT、BT）和電極材料（Pt、Au、Ru、Al）

    化合物半導(dǎo)體晶圓的等離子切割，薄型化

    選項(xiàng)

    難蝕刻材料用特殊電極機(jī)構(gòu)

    產(chǎn)品留言
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