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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 - SpinCoater -MS-B150 系列

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 - SpinCoater -MS-B150 系列 ■ 特點 ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達旋轉(zhuǎn)數(shù)的時間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設(shè)備（MS-A150/MS-A200）
    詳情介紹：

    日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 - SpinCoater -MS-B150 系列

    膜厚測量裝置

    FILMETRICS制 F50

    光刻劑

    OFPR-800LB（東京奧卡制造）

    基板尺寸

    6 inch硅晶圓

    目標(biāo)膜厚

    1微米

    膜厚分布

    ±0.6%


    功能

    ■ 采用AC伺服電動機
    ● 無刷式，不會造成無塵室汚染。
    ● 減少電動機發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時的溫度上升造成對膜厚再現(xiàn)性的影響。
    ● 電力消費低，減低環(huán)境的負擔(dān)。
    ■ 擴張程序功能
    ● *多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
    ■ 所有機型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式真空計
    ■ 方形基板等可設(shè)定停止時位置，超方便
    ■ **裝置機構(gòu)（真空壓及蓋子）
    ● 由于薄膜或晶圓容易破裂， 而降低吸附壓力時，可以變更**裝置機構(gòu)（真空）的稼動壓力。

     

    蘇州代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 MS-B150
    無錫代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 MS-B150
    昆山代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 MS-B150
    上海代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 MS-B150
    南京代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機 MS-B150
    刷涂機、刮涂機、噴涂機


    聯(lián)系人：李先生 13402684488（微信同號）


    對準(zhǔn)曝光機
    MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
    旋轉(zhuǎn)涂布機
    MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）

    顯影刻蝕裝置



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