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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：代理日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機MS-B200

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹：

產(chǎn)品規(guī)格

*大電路板尺寸 φ8英寸晶圓或150×150mm基板
轉(zhuǎn)速（rpm） 20～5,000
旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm（負載時）
電機 交流伺服電機
蓋 聚碳酸酯
旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 φ360mm
步驟模式數(shù) 100 步× 10 模式
時間設(shè)置 999.9sec
**聯(lián)鎖 真空標準蓋
標準設(shè)備
滴落設(shè)備 選項
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100～240V　5A
外形尺寸（mm） 500W×335H×583D
重量 28kg

* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

支持選項

<定制類型> >支持<的型號
自動滴落裝置（空氣驅(qū)動） 1 臂 ○
2 臂 ○
自動滴落裝置（支架類型）   ○
邊緣沖洗   ○
反向沖洗   ○
排氣管   ○
廢液排放   ○
蓋子限位開關(guān)   ○
特氟龍涂層加工   ○
添加電機廢熱風扇   ○
緊急停止開關(guān)   ○
大功率電機    

膜厚分布數(shù)據(jù)

膜厚分布數(shù)據(jù)

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使用的型號 MS-B200
薄膜厚度測量設(shè)備 菲梅特里克斯F50
電阻 OFPR-800LB（東京應(yīng)化社制）
電路板尺寸 φ8英寸硅晶片
目標厚度 1μm
薄膜厚度分布 ±0.5％
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