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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：日本進(jìn)口MIKASA旋轉(zhuǎn)刮涂機(jī)MS-B300

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
    • 產(chǎn)品價格：0
    • 折扣價格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    光刻.com從旋涂機(jī)（涂布機(jī)）到掩模對準(zhǔn)器（曝光裝置），以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實(shí)驗(yàn)室機(jī)器。 此外，作為測量，我們還處理各種測量機(jī)，用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。
    詳情介紹：

    產(chǎn)品規(guī)格

    *大電路板尺寸 φ12英寸晶圓或200×200mm基板
    轉(zhuǎn)速（rpm） 20～5,000
    旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm（負(fù)載時）
    電機(jī) 交流伺服電機(jī)
    蓋 聚碳酸酯
    旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 φ500mm
    步驟模式數(shù) 100 步× 10 模式
    時間設(shè)置 999.9sec
    **聯(lián)鎖 真空標(biāo)準(zhǔn)蓋
    標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
    滴落設(shè)備 選購件（*多可安裝 2 個臂）
    使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
    電源 AC200 至 240V 單層 5A
    外形尺寸（mm） 545W×432H×654D
    重量 55kg
    選項(xiàng) 居中夾具

    * 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

    膜厚分布數(shù)據(jù)

    膜厚分布數(shù)據(jù)

    ↑Click Zoom

    使用的型號 MS-B300
    電阻 OFPR-800LB（東京應(yīng)化社制）
    電路板尺寸 φ12英寸硅晶片
    目標(biāo)厚度 1μm
    薄膜厚度分布 ±0.8％
    產(chǎn)品留言
    標(biāo)題
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    蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號