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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：AMAYA天谷制作所太陽能電池批量生產(chǎn)用AMAX1000S

    • 產(chǎn)品型號：
    • 產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡單介紹：
    156mm 方形/小時(shí) 1500 張吞吐量 ? 通過采用 SiC 托盤解決重金屬污染問題， 以及通過改進(jìn)托盤支架進(jìn)行背面旋轉(zhuǎn)措施 氣相沉積設(shè)備
    詳情介紹：
    特點(diǎn)

    超大規(guī)模生產(chǎn)設(shè)備可
    運(yùn)輸 156mmx156mm 方形基板和 125mm x 125mm 方形基板，以滿足太陽能電池的生產(chǎn)需求。

    為了實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，我們開發(fā)了專用分配頭，并開發(fā)了雙臂輸送機(jī)構(gòu)，
    以實(shí)現(xiàn)超高速輸送。 此外，還增加了新的燈加熱機(jī)制，以獲得
    超高速和晶圓溫度均勻性。

    我們開發(fā)了特殊的晶圓支架，可有效地加熱到太陽能電池的薄晶圓上。

    卸載機(jī)部分采用多級伯努伊夾頭，將晶圓和托盤分開，并
    具有冷卻功能。

    性能
    薄膜厚度均勻性 ≦±10%
    支持的晶圓尺寸 156mm 方形，126mm 方形
    氣體種類 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
    沉積溫度 ～430℃
    生產(chǎn)力 1500 張/小時(shí)
    主要規(guī)格

    設(shè)備尺寸 1860mm(W) x 5900mm(D) x 2100mm(H)
    加熱機(jī)構(gòu) 電阻加熱和燈加熱
    卸載 加載： 夾緊， 卸載： 伯努伊恰克
    分散頭
    （氣體噴嘴）     		A63 長頭（*多可添加 3 個標(biāo)準(zhǔn)頭和 5 個頭）
    蘇州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    常州代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    昆山代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    無錫代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

    南京代理WATANABE渡邊用于太陽能電池批量生產(chǎn)AMAX1000S

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