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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：國(guó)內(nèi)直銷AMAYA天谷制作所MOCVD 設(shè)備; Doctor-TTM

    • 產(chǎn)品型號(hào)：
    • 產(chǎn)品廠商：AMAYA天谷制作所
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    AMAYA天谷制作所MOCVD 氣相沉積設(shè)備; Doctor-TTM ? 8 英寸晶圓兼容 ? 可 沉積金屬氧化膜、金屬氮化膜等 ? 采用 磚利無(wú)氯氣化器 ? 擁有 4 種 MO 材料線 ? 單室/雙腔室 可選
    詳情介紹：
    概述

    配備獲得磚利的無(wú)氯氣化器，可形成各種有機(jī)金屬化合物。
    ● 4種MO原料分別通過(guò)流量控制同時(shí)氣化 ， 因此成分比控制簡(jiǎn)單 。
    薄膜厚度均勻性和嵌入性可進(jìn)行良好的沉積。

    應(yīng)用和實(shí)際示例

    金屬氧化膜： SBT/PZT/STO/BLT/BaTiO3/HfAlxOy/PGO/RuOx/IrOx/SRO/VO2/IGZO/BiOx 等
    ·金屬氮化膜：TaN/TiN/Ta3N5/Nb3N5/AlN 等
    ·金屬（化合物）膜：BiT/GST/SBTNb/Ti/Ta/Ru/Ir/B等

    特點(diǎn)

    ? 使用無(wú)氯氣化器連續(xù)沉積
    ，易于膜組成控制
    ，薄膜厚度均勻性好，植入性好

    氣相沉積設(shè)備
    規(guī)格
    設(shè)備主體尺寸
    （雙室）     		1800mm(D) x 3380mm(W) x 2200mm(H)
    加熱機(jī)構(gòu) 電阻加熱
    卸載 集群室，機(jī)器人CtoC輸送
    氣體噴嘴 圓形

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