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產品詳情

  • 產品名稱：HAMAMASTU濱松激光驅動光源 (LDLS) EQ-400-RH-QZ-S

  • 產品型號：
  • 產品廠商：HAMAMASTU濱松
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簡單介紹：
塔瑪薩崎電子銷售HAMAMASTU濱松激光驅動光源 (LDLS) EQ-400-RH-QZ-S
詳情介紹：

特點

  • Extremely broad wavelength range：170 nm to 2500 nm
  • Long lifetime：10 000 hours
  • High radiance from a small plasma

光譜輻射照度

詳細參數(shù)

 

Parameter Description / Value Unit
Optical interface*1 Diverging beam (Single beam) －
Wavelength range 170 to 2500 nm
Plasma size (FWHM) Typ. 370 × 800 μm
Numerical aperture NA 0.5 －
Lifetime*2 Typ. 10 000 h
Warm-up time 30 min
Laser class Class 4 －
Spectral radiance(at 500 nm) Typ. 110 mW/mm2·sr·nm
Broadband optical power Typ. 15 W
Output window size Φ22 mm
Window material*3 Quartz －
Cooling method Water cooling*4*5 －
Nitrogen purge Required. Grade 4.8 or higher, filtered to 5 μm. 20 psiG ±2 psiG －
Applicable standards EN 61010-1
EN 61326-1
IEC 60825-1
IEC 62471
EN 50581 		－
Device configuration Lamphead, Power supply controller, Necessary cables －
Power rating Input voltage (AC) 200 to 240 V
Power frequency 50 / 60 Hz
Power consumption 1700 W

*1 Dual-beam output mode can be selected as an option. See page 4 for detailed information.

*2 Windows may need to be replaced depending on the extent of contamination and usage conditions.

*3 BK7 (350 to 2500) windows are also selectable as options.

*4 Cooling water conditions

Lamphead: 1 L/min, 18 °C to 30 °C, 90 psiG (0.62 MPa) max. inlet pressure

Controller: 3 L/min to 4 L/min, 18 °C to 24 °C, 90 psiG (0.62 MPa) max. inlet pressure

*5 A chiller kit is available as an option.

外形尺寸圖（單位：mm）

Lamphead

Controller

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