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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：MIKASA旋轉涂層機MS-B100

  • 產(chǎn)品型號：MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
  • 產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉涂布機
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
詳情介紹：

產(chǎn)品規(guī)格

*大電路板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
速度（轉/分） 20~8，000
旋轉精度 ±1轉/分（負載時）
發(fā)動機 交流伺服電機
蓋 丙烯酸
旋轉室直徑 φ220毫米
步進模式數(shù) 100 步× 10 種模式
時間設置 999.9秒
**聯(lián)鎖 真空標準
蓋可選
滴水裝置 不可連接
使用的真空壓力 -0.08~-0.1兆帕
權力 交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米） 259W×246H×330D
重量 10公斤

* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

支持的選項

<定制類型> <兼容型號>
?自動滴水裝置（氣動型） 1 臂  
2 臂  
?自動滴水裝置（支架式）    
?漱邊    
?背部沖洗    
?排氣管   ○
?廢液排放   ○
?鄰苯二甲酰亞胺開關   ○
?特氟龍涂層   ○
?增加電機余熱風扇   ○
?急停開關   ○
?大功率電機    


薄膜厚度分布數(shù)據(jù)






使用的型號 MS-B100
薄膜厚度測量裝置 菲爾計量 F50
抵抗 OFPR-800LB （東京大鹿）
電路板尺寸 φ4英寸硅片
目標膜厚度 1微米
薄膜厚度分布 ±0.8%
選型支持 技術服務 售后安裝調試維修

蘇州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100

南京代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100

常州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100

上海代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100

武漢、長沙、合肥、杭州、貴陽、蕪湖





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