產(chǎn)品規(guī)格

*大電路板尺寸	φ6英寸晶圓或100×100mm基板
速度（轉(zhuǎn)/分）	20~7，000
旋轉(zhuǎn)精度	±1轉(zhuǎn)/分（負(fù)載時(shí)）
發(fā)動(dòng)機(jī)	交流伺服電機(jī)
蓋	丙烯酸
旋轉(zhuǎn)室直徑	φ290毫米
步進(jìn)模式數(shù)	100 步× 10 種模式
時(shí)間設(shè)置	999.9秒
**聯(lián)鎖	真空標(biāo)準(zhǔn) 蓋可選
滴水裝置	選擇
使用的真空壓力	-0.08~-0.1兆帕
權(quán)力	交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）	352W×303H×432D
重量	16公斤

* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

支持的選項(xiàng)

<定制類型>		<兼容型號(hào)>
?自動(dòng)滴水裝置（氣動(dòng)型）	1 臂	○
	2 臂	○
?自動(dòng)滴水裝置（支架式）		○
?漱邊		○
?背部沖洗		○
?排氣管		○
?廢液排放		○
?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān)		○
?特氟龍涂層		○
?增加電機(jī)余熱風(fēng)扇		○
?急停開關(guān)		○
?大功率電機(jī)

選型支持 技術(shù)服務(wù) 售后安裝調(diào)試維修

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