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  • 產品名稱：MDCOM株式會社MEIRA-S-1-200-C間歇式準分子輻照系統(tǒng)

  • 產品型號：
  • 產品廠商：MDCOM株式會社
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簡單介紹：
塔瑪薩崎電子銷售MDCOM株式會社MEIRA-S-1-200-C間歇式準分子輻照系統(tǒng)MEIR-S系列是帶有集成輻照室的準分子輻照裝置。輻照室的尺寸和形狀可根據(jù)客戶的樣品和輻照方法定制。 也可以使用帶有滾輪輻照旋轉機構的輻照裝置。
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塔瑪薩崎電子無錫銷售MDCOM株式會社MEIRA-S-1-200-C間歇式準分子輻照系統(tǒng)


MEIR-S系列是帶有集成輻照室的準分子輻照裝置。
輻照室的尺寸和形狀可根據(jù)客戶的樣品和輻照方法定制。
也可以使用帶有滾輪輻照旋轉機構的輻照裝置。

參考規(guī)格

蘋果 XE（氙氣）準分子燈*1
波長 172納米
安裝的燈具數(shù)量 從1個*1開始的定制設計
有源發(fā)射長度 200毫米~750毫米 *2
光。。。。。。。。。。。。 標準 70mW/c㎡以上（大氣和管面照度）*3
光。。。。。。。。。。。。 高照度 120mW/c㎡以上（大氣和管面照度）*3
光。。。。。。。。。。。。 內管水冷高照度 170mW/c㎡以上（大氣和管面照度）*3
照度均勻性 ± 10% 以內
照射距離調節(jié)功能 2毫米~25毫米
N2流量計 是（*大流量取決于燈的數(shù)量）
CDA 流量計 是（*大流量取決于燈的數(shù)量）
石英燈拉出式窗口 是的
排氣設備 排氣鼓風機和臭氧過濾器
臭氧泄漏監(jiān)測儀 選擇
■ 注
*1 燈管數(shù)量、有效長度、照射設備尺寸：定制*2 支持以10mm有效燈長為增量進行定制
。
*3 照明后立即測量大氣管表面（使用照度計C9536/H9535-172測量）


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